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測(cè)量5反射型2D激光移位計(jì)

使用2D激光移位計(jì)同時(shí)測(cè)量基礎(chǔ)面和工件,并根據(jù)獲取的形狀測(cè)量高度差,以此求出厚度。

要點(diǎn)

如果工件與基礎(chǔ)面之間產(chǎn)生間隙,則會(huì)產(chǎn)生誤差。

  • 使用如平板一般面精度較高的基礎(chǔ)面。
  • 利用真空吸附或磁力吸附。

等,提高緊密性至關(guān)重要。

LJ-X系列
  • 2D三角測(cè)量方式
  • 通過(guò)激光線束實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)測(cè)量
  • 超高速 64000次拍攝/ 秒
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LJ-X系列
LT系列
  • 共焦方式
  • 光點(diǎn)直徑φ2 μm
  • 薄膜測(cè)量能力較高
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LT系列

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