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produced by KEYENCE 測(cè)量百科

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測(cè)量基礎(chǔ)解說(shuō)選擇測(cè)量?jī)x所需的術(shù)語(yǔ)

安裝狀態(tài)/安裝模式 為了使用激光移位計(jì)測(cè)量目標(biāo)物,需要接收器獲取目標(biāo)物的反射光。為了使三角測(cè)量方式的測(cè)量?jī)x可適當(dāng)接收反射光,需根據(jù)目標(biāo)物的表面狀態(tài),傾斜安裝傳感頭。
  • A) 不透明的目標(biāo)物時(shí) 與目標(biāo)物呈水平狀態(tài)安裝傳感頭 不透明的目標(biāo)物時(shí) 接收器可接收部分漫反射光
  • B) 透明的目標(biāo)物時(shí) 使入射角和反射角相等進(jìn)行安裝 透明的目標(biāo)物時(shí) 接收器可接收鏡面反射光
參考距離 通過(guò)激光移位計(jì)測(cè)量目標(biāo)物時(shí),測(cè)量值為0的點(diǎn)。
一般表示從傳感頭的下面到測(cè)量范圍中心的距離。

參考距離

測(cè)量范圍 表示激光移位計(jì)可測(cè)量目標(biāo)物位移量的范圍。
一般以參考距離為基準(zhǔn),表示±○○ mm。
【標(biāo)記示例】
參考距離:30 mm
測(cè)量范圍:±5 mm
上述激光移位計(jì)可在以下范圍內(nèi)測(cè)量目標(biāo)物。

測(cè)量范圍

光源 使用原理為:在非接觸測(cè)量?jī)x中使用光線從發(fā)射器對(duì)目標(biāo)物照光,并用接收器接受其反射光。該光源可使用紅色半導(dǎo)體激光、藍(lán)色半導(dǎo)體激光、白光、SLD、綠色LED等多種光。
依照測(cè)量?jī)x原理決定使用哪種光源,并使用光源相應(yīng)的鏡頭和光接收元件等,可實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。
光點(diǎn)直徑 非接觸測(cè)量?jī)x一般包括2種光點(diǎn)直徑。分為橢圓形狀的光點(diǎn)直徑和小光點(diǎn)型的光點(diǎn)直徑。
橢圓形狀的光點(diǎn)直徑可測(cè)量橢圓內(nèi)的平均高度,因此不易受到目標(biāo)物表面粗糙度誤差的影響。但光點(diǎn)尺寸變大,因此不適于測(cè)量形狀和較小部位。
而小光點(diǎn)型的光點(diǎn)直徑光點(diǎn)較小,可有效測(cè)量形狀或細(xì)微部位,但同時(shí)還會(huì)跟蹤表面粗糙度,與橢圓形狀的光點(diǎn)直徑相比,易于受到表面粗糙度誤差的影響。
  • 橢圓形狀
  • 小光點(diǎn)
重復(fù)精度 表示重復(fù)測(cè)量目標(biāo)物定點(diǎn)時(shí)的偏差。
直線性

直線性是表示測(cè)量?jī)x性能的指標(biāo)。表示理想值與實(shí)際測(cè)量結(jié)果誤差的最大值。例如,使用直線性為±5 μm的測(cè)量?jī)x移動(dòng)1 ㎜的目標(biāo)物時(shí),表示所顯示的值可能包含±5 μm的誤差(9.995 μm至1.005 μm)。
直線性的規(guī)格規(guī)定為±○○% of F.S.,F(xiàn).S.表示測(cè)量范圍,可按以下示例進(jìn)行計(jì)算。直線性越小的測(cè)量?jī)x越可稱之為越好的測(cè)量?jī)x。

直線性表
例)直線性:0.02% of F.S.、測(cè)量范圍:±3 mm(F.S.= 6 mm)的測(cè)量?jī)x時(shí)
[直線性] = 0.02% × 6 mm = ±1.2 μm
溫度特性 溫度特性表示傳感頭的溫度變化1度時(shí)所發(fā)生的測(cè)量值誤差的最大值。在傳感頭的內(nèi)部中,使用了鏡頭或CMOS及固定這些構(gòu)件的夾具。因溫度變化,上述構(gòu)件會(huì)發(fā)生膨脹或收縮,且成像在CMOS上的光點(diǎn)位置變化會(huì)產(chǎn)生誤差。
溫度特性規(guī)定為○○% of F.S./℃,F(xiàn).S.表示測(cè)量范圍,可按以下示例進(jìn)行計(jì)算。溫度特性越小的測(cè)量?jī)x越可稱之為越好的測(cè)量?jī)x。
例)溫度特性:0.01% of F.S./℃ 、測(cè)量范圍:±3 mm(F.S.= 6 mm)的測(cè)量?jī)x時(shí)
[直線性] = 0.01% × 6 mm = 0.6 μm
環(huán)境光照 表示測(cè)量?jī)x可不受外部光線影響進(jìn)行測(cè)量的外部光源的最大照度。
環(huán)境溫度 保證測(cè)量?jī)x動(dòng)作的溫度環(huán)境。
相對(duì)濕度 保證測(cè)量?jī)x動(dòng)作的濕度環(huán)境。
抗震動(dòng) 表示對(duì)測(cè)量?jī)x振動(dòng)影響的指標(biāo)。表示通過(guò)記載的數(shù)值進(jìn)行評(píng)估。
一般記載為“10至55 Hz 雙向振幅1.5 mm X、Y、Z方向各2個(gè)小時(shí)”,具體按以下內(nèi)容進(jìn)行測(cè)試。
對(duì)X方向上±0.75 mm 的振幅以10至55 Hz的頻率進(jìn)行2小時(shí)變化

對(duì)Y方向上±0.75 mm的振幅以10至55 Hz的頻率進(jìn)行2小時(shí)變化

對(duì)Z方向上±0.75 mm的振幅以10至55 Hz的頻率進(jìn)行2小時(shí)變化
采樣周期/采樣速度 表示測(cè)量?jī)x在1秒內(nèi)可測(cè)量的數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)。采樣周期為100 Hz的測(cè)量?jī)x在每秒可進(jìn)行100次測(cè)量。采樣周期越快的測(cè)量?jī)x越可準(zhǔn)確測(cè)量在線移動(dòng)的目標(biāo)物,或可進(jìn)行較多單一時(shí)間內(nèi)的平均化處理,因此能穩(wěn)定測(cè)量值。
接收光波形 表示光接收元件接收到的光的狀態(tài)為接收光波形。縱軸表示光的強(qiáng)度,橫軸表示光接收元件上的位置。通過(guò)確認(rèn)接收光波形的形狀,可判斷是否準(zhǔn)確進(jìn)行當(dāng)前測(cè)量。
①理想的接收光波形
可穩(wěn)定測(cè)量的接收光波形。
②接收光波形的高度較低時(shí)
無(wú)法獲得充足的反射,因此無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。
③接收光波形的高度過(guò)高時(shí)
處于飽和狀態(tài)。此時(shí),測(cè)量值的偏差變大。
④接收光波形的形狀左右不對(duì)稱時(shí)
測(cè)量樹(shù)脂等時(shí),激光將進(jìn)入目標(biāo)物中,使得接收光波形左右更加不對(duì)稱。
此時(shí)的測(cè)量值將根據(jù)進(jìn)入量平移實(shí)際值。
⑤存在多條接收光波形時(shí)
測(cè)量玻璃等透明目標(biāo)物時(shí),會(huì)產(chǎn)生1條以上的峰值。測(cè)量玻璃時(shí),可獲得表面反射峰值和里面反射峰值總計(jì)2條峰值。
光軸、光軸區(qū)域 將測(cè)量?jī)x發(fā)射器照射的光的中心軸稱為光軸。
光軸區(qū)域圖表示從發(fā)射器到接收器的光的路徑。若在該區(qū)域內(nèi)放入夾具等,則光不會(huì)照射到目標(biāo)物或接收器,因此無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。

光軸區(qū)域圖

電源電壓 驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品時(shí)所需的電源電壓。如果為24 VDC±10%的規(guī)格,則表示直流電源,需要電壓24 V變動(dòng)量在±2.4 V以內(nèi)的電源。
最大消耗電流 驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品時(shí)所消耗的電流量。使用的電源需要選擇比該最大消耗電流容量還大的產(chǎn)品。

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