導(dǎo)入案例 客戶之聲 <厚度篇>
案例 1: 玻璃的厚度測(cè)量
行業(yè)種類 | 半導(dǎo)體和液晶行業(yè) |
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用途名稱 | 玻璃的厚度測(cè)量 |
采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |

使用A公司的激光移位計(jì)測(cè)量了玻璃的厚度。有時(shí)圖案面會(huì)產(chǎn)生追蹤誤差,難以改善檢查效率。
通過(guò)采用基恩士的激光移位計(jì)LK系列,可消除圖案面的追蹤誤差,并改善檢查效率。

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因玻璃面與圖案面的反射率之差導(dǎo)致圖案面的追蹤誤差。為了在各個(gè)面上呈現(xiàn)理想的反射光量,可通過(guò)激光移位計(jì)LK系列高速控制發(fā)射時(shí)間和發(fā)射功率,無(wú)限降低追蹤誤差的影響。

案例 2: 多層薄膜的膜厚測(cè)量
行業(yè)種類 | 電子和電機(jī)行業(yè) |
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用途名稱 | 多層薄膜的膜厚測(cè)量 |
采用機(jī)型 | SI-T系列 |

通過(guò)X線式的膜厚計(jì)測(cè)量了透明多層薄膜的膜厚。測(cè)量點(diǎn)較大,無(wú)法管理細(xì)微厚度的偏差。
通過(guò)采用基恩士的分光干涉式激光位移計(jì),可測(cè)量細(xì)微的薄膜厚度,并活用于吐出流量、壓力及傳輸速度的理想控制。

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分光干涉式激光位移計(jì)SI系列可通過(guò)30 μm的小光點(diǎn)來(lái)測(cè)量厚度,因此能準(zhǔn)確測(cè)量至邊緣部??捎糜跈z測(cè)纏繞不良和預(yù)防扎帶現(xiàn)象。

案例 3: 晶圓的厚度測(cè)量
行業(yè)種類 | 半導(dǎo)體和液晶行業(yè) |
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用途名稱 | 晶圓的厚度測(cè)量 |
采用機(jī)型 | SI-R系列 |

通過(guò)接觸式測(cè)量?jī)x管理了晶圓的厚度。存在測(cè)量時(shí)切開(kāi)晶圓導(dǎo)致劃傷的課題,因此研究使用非接觸測(cè)量?jī)x。
通過(guò)采用基恩士的分光干涉式激光位移計(jì)SI-R系列,無(wú)需擔(dān)心劃傷晶圓。頭部較小,可安裝于裝置內(nèi),從而能始終監(jiān)視晶圓的厚度。

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分光干涉式激光位移計(jì)SI-R系列采用了可透過(guò)Si及GaAs、SiC、InP、a-Si等半導(dǎo)體的近紅外SLD。因此,即使貼有BG膠帶,仍可準(zhǔn)確測(cè)量晶圓的厚度。

案例 4: 面條的厚度測(cè)量
行業(yè)種類 | 食品行業(yè) |
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用途名稱 | 面條的厚度測(cè)量 |
采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |

使用千分尺抽檢了面條的厚度。由于面條柔軟,受到接觸壓力的影響,會(huì)存在因人而異的測(cè)量結(jié)果偏差。
通過(guò)采用基恩士的激光移位計(jì)LK系列,實(shí)現(xiàn)了在線管理厚度。當(dāng)然,由于為非接觸式測(cè)量,也可解決因人而異的偏差問(wèn)題。

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面條的厚度測(cè)量是采用實(shí)績(jī)較多的一種用途。由于面條的制造工序處于面粉彌漫的環(huán)境,因此穩(wěn)定測(cè)量值非常重要。
激光移位計(jì)LK系列配備了能消除突發(fā)性值的中值濾波器,可不受面粉的影響進(jìn)行穩(wěn)定測(cè)量。

案例 5: 橡膠薄板的厚度測(cè)量
行業(yè)種類 | 樹(shù)脂和橡膠行業(yè) |
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用途名稱 | 橡膠薄板的厚度測(cè)量 |
采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |

使用A公司的激光移位計(jì)在線測(cè)量了橡膠薄板的厚度。
由于不支持產(chǎn)品公差的嚴(yán)格要求,因此嘗試了基恩士的激光移位計(jì)LK系列。也可通過(guò)LK系列解決因表面粗糙度影響所產(chǎn)生的測(cè)量值偏差。由于測(cè)試結(jié)果良好,因此決定購(gòu)買。

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激光移位計(jì)LK系列擁有392 kHz超快采樣速度的特點(diǎn)。通過(guò)平均處理高速采樣所獲得的大量數(shù)據(jù),即使在線測(cè)量仍可穩(wěn)定測(cè)量厚度。

案例 6: 馬達(dá)機(jī)芯的迭片厚度測(cè)量
行業(yè)種類 | 運(yùn)輸和金屬行業(yè) |
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用途名稱 | 馬達(dá)機(jī)芯的迭片厚度測(cè)量 |
采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |

馬達(dá)機(jī)芯迭片的性能隨迭片數(shù)量而異,因此要目視檢查安裝的迭片是否為規(guī)定數(shù)量。
使用基恩士的激光移位計(jì)LK系列能在線測(cè)量厚度,可自動(dòng)進(jìn)行抽檢。

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若要通過(guò)厚度測(cè)量判斷迭片數(shù)量是否在規(guī)定范圍內(nèi),則要求精確到微米級(jí)的測(cè)量精度。激光移位計(jì)LK系列采用了能大幅控制表面粗糙度影響的光學(xué)設(shè)計(jì),并配備了專用部件,可在線高精度測(cè)量各種目標(biāo)物。

案例 7: 玻璃面板的密封材料厚度測(cè)量
行業(yè)種類 | 運(yùn)輸和金屬行業(yè) |
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用途名稱 | 玻璃面板的密封材料厚度測(cè)量 |
采用機(jī)型 | LJ-V系列 |

使用相機(jī)檢查了玻璃面板的密封材料。雖然目前可以檢查涂層破損,但還需要檢查密封材料的傾斜,因此導(dǎo)入了基恩士的2D激光移位計(jì)LJ系列。將傳感頭固定在膠槍上,不僅可測(cè)量涂層破損,還可測(cè)量厚度、寬度及截面面積等。

歡迎采用本設(shè)備。
2D激光移位計(jì)LK系列的特點(diǎn)是具備超快的采樣速度。即使在高速控制膠槍的情況下,仍可進(jìn)行窄小間距的測(cè)量,因此能防止密封不良。
