產(chǎn)品規(guī)格 分光干涉位移型多層膜厚測量儀 SI-T 系列

控制器

型號(hào)

SI-T1000V

SI-TA100

圖像

類型

主控制器 一體型

擴(kuò)展控制器*4

獨(dú)立型

SI-T1000/SI-TD500

SI-TA100

可連接的光譜單元數(shù)

2 臺(tái)

1 臺(tái)

顯示

最小顯示單位

0.001 μm

顯示范圍

±999.999 μm到 ±9999.99 mm(可選 7 種設(shè)定)

顯示頻率

10 次/ 秒

端子臺(tái)

激光遠(yuǎn)程聯(lián)鎖輸入

無電壓輸入*1

*1

計(jì)時(shí) 1 輸入

無電壓輸入2*1

復(fù)位 1 輸入

無電壓輸入*1

自動(dòng)歸零 1 輸入

激光控制輸入

模擬輸出電壓

±10V ×2 輸出, 輸出阻抗100Ω*1

±10V ×1 輸出, 輸出阻抗100Ω*1

模擬電流輸出

4 到20mA ×2 輸出, 最大負(fù)載阻抗 350Ω*1

4 到20mA ×1 輸出 , 最大負(fù)載阻抗 350Ω*1

報(bào)警輸出

NPN 開集極輸出(N.C.)*1

*1

一般比較器輸出

NPN 開集極輸出*1

擴(kuò)展連接器

計(jì)時(shí)輸入

無電壓輸入2*1

復(fù)位輸入

無電壓輸入*1

自動(dòng)調(diào)零輸入

程序切換輸入

無電壓輸入 ×3 輸入*1

報(bào)警輸出

NPN 開集極輸出(N.C.)*1

判定、二進(jìn)位輸出

二進(jìn)制輸出

測量數(shù)據(jù)輸出(21bit) , 可選OUT
NPN 開路集電極輸出*1

選通脈沖輸出

NPN 開集極輸出*1

二進(jìn)制選擇器輸出

二進(jìn)制選擇輸入

無電壓輸入*1

RS-232C 接口

測量數(shù)據(jù)輸出和控制輸入/ 輸出
( 波特率最高可選擇 115200 bps)

USB 接口

兼容USB2.0 HI-SPEED( 兼容USB1.1 Full-SPEED)

Ethernet 接口

100Base–TX/10Base–T

主要功能

測量面設(shè)定/ 測量面間計(jì)算功能、層數(shù)校驗(yàn)功能、光量累計(jì)功能、偏轉(zhuǎn)自動(dòng)補(bǔ)償功能、12OUT 同時(shí)測量功能、計(jì)算功能、平均功能、濾波功能、校正功能、測量功能、測量值警報(bào)設(shè)定功能、容差設(shè)定功能、自動(dòng)調(diào)零功能、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能、光線監(jiān)控功能、8 程序存儲(chǔ)器功能、遮罩功能、設(shè)定支持軟件連接功能等

額定

電源電壓

24VDC±10% 脈動(dòng)10%(P–P)以下

隨主控制器提供

消耗電流

連接1 個(gè)傳感頭時(shí) 0.6A 以下
連接6 個(gè)傳感頭時(shí) 1.5A 以下

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

0 到+50°C*2

0 到+50°C*5

相對(duì)濕度

35 到85%RH 無冷凝

抗震性

10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm 雙倍振幅,各2 小時(shí)*3

重量

約600g

約300g

*1 NPN 開路集電極輸出額定輸出:最大 50mA(最大 40V),殘余電壓最大 0.5V
無電壓額定輸入:啟動(dòng)電壓 最大 1V,關(guān)閉電流最大 0.6mA
本機(jī)的各輸入/輸出電路,部分是內(nèi)部共用電路。請(qǐng)注意,內(nèi)部公共端子之間不會(huì)因連接線/外部設(shè)備間的電位差而產(chǎn)生電位差。
*2 當(dāng)連接 2 臺(tái)或更多擴(kuò)展控制器時(shí),環(huán)境溫度為 0 到 40°C。
*3 當(dāng)連接 2 臺(tái)或更多擴(kuò)展控制器時(shí),抗震性為“10 到 55Hz ,XYZ方向上 0.3 mm 雙倍振幅,各2小時(shí)”。
*4 最多可在主控制器上連接 4 個(gè)擴(kuò)展控制器。
*5 當(dāng)連接 2 臺(tái)或更多擴(kuò)展控制器時(shí),環(huán)境溫度為 0 到 40°C。

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傳感頭

型號(hào)

SI-T10*1

SI-T80

圖像

類型

多層位移測量型 傳感頭

長距離厚度測量型 傳感頭

分光單元

SI-T10U

SI-T80U

測量范圍 (折射率n=1)

0.01 到1.0 mm

參考距離

9 mm*2

80 mm*2

測量用光源

紅外SLD , 輸出1 mW , 1 類激光產(chǎn)品(IEC60825-1)

光束直徑

?30 μm*3

φ25 μm*3

線性度

±0.3 μm*4

±0.3 μm*7

分辨率

0.01 μm (0.25 μm)*5*6

0.01 μm*6

采樣周期

1 ms

LED顯示

目標(biāo)靠近測量中心:綠光。目標(biāo)在測量范圍內(nèi):橙光。目標(biāo)在測量范圍外:橙光閃爍。

環(huán)境抗耐性

外殼防護(hù)級(jí)

IP64

環(huán)境光照

白熾燈、熒光燈:10000 lux 以下

環(huán)境溫度

0 到+40°C

0 到+50°C

相對(duì)濕度

35 到85%RH(無冷凝)

抗震性

10 到55Hz,XYZ 方向上1.5 mm
雙倍振幅,各2 小時(shí)

材料

SUS304

重量

約 70g (含連接線)

*1 傳感頭和分光單元已經(jīng)配套調(diào)整完畢。無兼容性。
*2 表示與傳感頭正面的距離。會(huì)出現(xiàn)最大 ±0.2 mm 的個(gè)別差異。
*3 表示測量范圍內(nèi)的最小光束直徑。
*4 當(dāng)測量對(duì)象是玻璃板表面并將平均測量次數(shù)設(shè)定為 64 次時(shí)獲得的值
*5 不使用峰值間計(jì)算時(shí)為 0.25 μm。
*6 當(dāng)測量對(duì)象是位于測量中心厚度為 t=0.1 mm 的玻璃,并將平均測量次數(shù)設(shè)定為 4096 次時(shí)獲得的值
*7 當(dāng)測量對(duì)象是 2 塊玻璃板的間隙厚度,并將平均測量次數(shù)設(shè)定為 64 次時(shí)獲得的值

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專用 PC 軟件

型號(hào)

SI-H1T*1

圖像

類型

PC軟件

支持 OS

Windows 11 Pro /Windows 10*2/Windows 7( SP1 以后)*3/Windows Vista( SP2 以后)*4/Windows XP( SP3 以后)*5

CPU

Pentium Ⅲ 1GHz 以上(建議使用1.7GHz 以上)

存儲(chǔ)器容量

256MB 以上(建議使用1GB 以上)

硬盤可用空間

1GB 以上

顯示器

1024x768 像素、24bit 真彩色以上

PC接口

配置有以下任意一種接口:
USB :Revision2.0 高速(USB1.1 兼容時(shí)全速)*6
LAN :100BASE-TX、10BASE-T*7
RS-232C(串口)

*1 用戶使用的OS應(yīng)在建議運(yùn)行環(huán)境以上版本的環(huán)境中使用。
*2 支持 Home、Pro、Enterprise 的各 Edition。
*3 支持 Home Premium、Professional、Ultimate 的各 Edition。
*4 支持 Ultimate、Business、Home Premium、Home Basic 的各 Edition。
*5 支持 Professional Edition 及 Home Edition。
*6 經(jīng)由 USB 集線器的連接,不屬于保修對(duì)象。
*7 與 LAN 之間的連接及經(jīng)由路由器的連接,不屬于保修對(duì)象。

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