分光干涉位移型多層膜厚測(cè)量?jī)x SI-T 系列

從單層到多層，可以實(shí)現(xiàn)在線穩(wěn)定測(cè)量

追求“易用性”，使導(dǎo)入變得更為簡(jiǎn)單。融合 KEYENCE 的激光位移計(jì)和分光干涉計(jì)，改變了當(dāng)今膜厚測(cè)量?jī)x的傳統(tǒng)概念。

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多層膜厚測(cè)量?jī)x

實(shí)現(xiàn)多層膜厚, 采用近紅外光?沒(méi)有危害, 實(shí)時(shí)在線檢測(cè),一秒1000次的采樣頻率,為當(dāng)今膜厚測(cè)量?jī)x的提供新的可能性。

借助 KEYENCE配備的光量累計(jì)功能，
類似粘附層等粗糙的表面，也可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量。

在拉伸制程等過(guò)程中，可以應(yīng)用于上游至下游的各種場(chǎng)所。

參考距離 : 9 mm | 測(cè)量范圍 : 0.01 ～ 1.0 mm | 特點(diǎn) : 簡(jiǎn)便測(cè)量多層膜 / 可測(cè)量位移 / ?8 mm &設(shè)定距離9 mm 的空間節(jié)省型

參考距離 : 80 mm | 測(cè)量范圍 : 0.01 ～ 1.0 mm | 特點(diǎn) : 設(shè)定80 mm 的長(zhǎng)距離 / 抗工件抖動(dòng) / 有利于高溫工件