產(chǎn)品規(guī)格 分光干涉式晶片厚度計(jì) SI-F80R 系列

型號(hào)

SI-F80R*1

圖像

類型

晶片厚度測量型 傳感頭

測量范圍

10 至 310 μm (n=3.5 時(shí))*2

可實(shí)現(xiàn)的檢測距離

80 至 81.1 mm

光源

紅外 SLD 輸出 0.6 mW, 1 類激光產(chǎn)品（IEC60825-1, FDA（CDRH）Part 1040.10 *3）

光束直徑

?25 μm*4

線性度

±0.1 μm*5

分辨率

0.25 μm*6

脈沖持續(xù)時(shí)間

200 μs

LED 指示器

工件靠近測量中心 : 綠光。工件在測量范圍內(nèi) : 橙光。工件在測量范圍外 : 橙光閃爍。

溫度波動(dòng)

―

環(huán)境抗耐性

外殼防護(hù)級(jí)

IP64

環(huán)境光照

白熾燈/熒光燈：最大 10,000 lux

環(huán)境溫度

0 至 +50 °C

相對(duì)濕度

35 至 85 % RH (無凝結(jié))

抗震性

10 至 55 Hz、雙振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 個(gè)小時(shí)

材料

SUS

重量

約 70 g (含連接線)

*1 傳感頭和光譜單元成對(duì)校準(zhǔn)。兩者不可互換。
*2 表示折射率為 3.5 時(shí)的厚度測量范圍。 (折射率為 1 時(shí)厚度測量范圍為 35 至 1100 μm)
*3 FDA (CDRH) 的激光分類是基于IEC60825-1 并根據(jù)Laser Notice 的要求而實(shí)施的。
*4 表示測量范圍內(nèi)的最小光束直徑。
*5 當(dāng)測量兩塊玻璃板間隙并將平均測量次數(shù)設(shè)為 256 (轉(zhuǎn)換為折射率就是 3.5) 時(shí)獲得的值。
*6 當(dāng)在檢測距離內(nèi)測量厚度為 0.3 mm 的玻璃對(duì)象并將平均測量次數(shù)設(shè)為 4096 時(shí)獲得的值。

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