3D 輪廓測量儀“VR-6000 系列”以非接觸方式直接實現(xiàn)粗糙度儀、形狀輪廓測量儀的測量。3D 輪廓測量儀以 0.1 μm 分辨率捕捉觸針式無法充分測量的面整體形狀。還新搭載了電動旋轉(zhuǎn)單元。在旋轉(zhuǎn)樣品的同時進(jìn)行測量,能夠消除死角,再現(xiàn)真實的截面形狀。可簡單測量壁厚及凹陷尺寸。另外,采用 HDR 掃描算法提升了掃描能力,即使是光學(xué)輪廓測量儀不擅長的有光澤的目標(biāo)物或材料反光弱的目標(biāo)物,也能瞬間判斷理想條件,正確測量形狀。與傳統(tǒng)機(jī)型*相比,能夠?qū)討B(tài)范圍最大擴(kuò)大到 1000 倍進(jìn)行掃描。*與本公司VR-5000 產(chǎn)品的比較
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